Regulus系列"是日立高新技術的FE-SEM的全新品牌，包括作為SU8010的後續機型開(kāi)發的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個(gè)機型，均實現了分辨率和操作性的強化(huà)(huà)。

       掃描電子顯微(wēi)鏡（SEM）被廣泛應用于納米技術，半導體(tǐ)?電子行業(yè)，生(shēng)命科學，材料科學等領域的材料結構觀察。近年來，新一(yī)代的電子器件(jiàn)應用中(zhōng)受到廣泛期待的新型碳材料，高分子材料，複合材料等的研究作為先進科學技術的中(zhōng)堅技術，在全世界範圍內(nèi)受到熱(rè)捧。掃描電子顯微(wēi)鏡廣泛用于這些(xiē)材料的觀察?評價，但僅僅具有超高分辨率還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不(bù)夠。還要求能在低(dī)加速電壓下(xià)對表面細微(wēi)結構的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外，在長(cháng)期的研究過程中(zhōng)還追求電鏡的性能的持續穩定和信賴性。

       本次發布的新品牌 "Regulus系列" 電子光(guāng)學系統進行了最優化(huà)(huà)處理，使得(de)著(zhe)陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20％。"Regulus8220/8230/8240"達到0.9nm，"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率。另外，最适合低(dī)加速電壓下(xià)高分辨觀察的冷場電子槍可将樣品的細節放大，并獲得(de)高質量的圖片。最大放大倍率也(yě)由之前的100萬倍提高到了200萬倍。
除此之外，為了能更好的應對不(bù)同樣品的測試和保持并發揮出高性能，還對用戶輔助工(gōng)能進行了強化(huà)(huà)，如信号檢測系統的操作輔助功能，維護輔助功能等。

主要特點

1. 搭載了色差極小的适合低(dī)加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍

2. 跟前代機型相(xiàng)比分辨率大約提高了20%
   （Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）

3. 最大倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍^*1

4. 用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能完全發揮出來

主要參數

*1   僅限 Regulus8240/8230/8220

*2   減速模式觀察

*3   127 mm × 95 mm 視野的畫(huà)面倍率

*4   5軸馬達台為選配項